イベント
セミナーのお知らせ: 松井伸介教授（千葉工業大学工学部機械電子創成工学科）
以下のとおりセミナーを開催いたします。皆様のご参加をお待ちしています。
UTriplセミナー
・PSCセミナー
・IPSTセミナー
・ICCPTセミナー
・ALICeセミナー
CIAiSセミナー
・XPSセミナー
TACMIコンソーシアムオープンセミナー
日時：2020年1月30日（木）16:00～17:30
場所：東京大学本郷キャンパス
理学部１号館2階201b号室
講演者： 松井 伸介 教授
（千葉工業大学工学部機械電子創成工学科）
講演題目: 超硬脆材料基板加工時代に向けたAFM触針をナノ切れ刃とした研磨加工現象のメカニズム
Abstract
非常に小さい切れ刃の砥粒による研磨加工は、複雑な要因が絡み合い、古くからの技術であるにもかかわらず良くわかっていない。また、切れ刃がナノスケールと小さくなると加工に機械的作用のほかに、化学作用が大きくかかわるとされている。そこで、形状の良く分かったAFM触針ナノ切れ刃で、AFMシステムを用いて加工荷重と加工軌跡を制御した原子層レベルでのナノ―マイクロ加工を液雰囲気を変化させ行い、研磨加工のメカニズムをナノメータスケールで迫るとともに、実際のパワーデバイスに用いられるGaNやダイヤモンド等の硬脆材料基板加工への展開について講演する。
使用言語：日本語
紹介教員：湯本潤司教授（理学系研究科物理学専攻）
本件連絡先：
※本セミナーはオープンですが、記録のため、参加者のお名前、ご所属、連絡先を当日ご記入いただきますのでご了承ください。